1．外观
2．过滤器完整性
3．下降气流速度
4．流入气流速度
5．气流模式
6．压差
7．照度
8．噪声
包括层流罩、采样车、隔离器等局部净化设备/装置
1．检漏
2．风速、风速均匀率
3．洁净度
4．照度
5．噪声
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